Rütubət təmiz otaqların işində ümumi ekoloji nəzarət şərtidir. Yarımkeçirici təmiz otaqda nisbi rütubətin hədəf dəyərinin 30-50% diapazonunda olmasına nəzarət edilir, bu da xətanın fotolitoqrafiya sahəsi kimi ±1% dar diapazonda olmasına və ya uzaq ultrabənövşəyi emal (DUV) sahəsində daha kiçik olmasına imkan verir. – Digər yerlərdə siz ±5%-ə qədər istirahət edə bilərsiniz.
Çünki nisbi rütubət təmiz otağın ümumi işinə kömək edə biləcək bir sıra amillərə malikdir, o cümlədən:
● bakteriya artımı;
● işçilərin otaq temperaturunda hiss etdiyi rahatlıq diapazonu;
● Statik yük görünür;
● metal korroziyası;
● su buxarının kondensasiyası;
● litoqrafiyanın deqradasiyası;
● Su udma.
Bakteriyalar və digər bioloji çirkləndiricilər (kif, viruslar, göbələklər, gənələr) nisbi rütubətin 60%-dən yuxarı olduğu mühitlərdə aktiv şəkildə çoxala bilər. Bəzi flora nisbi rütubət 30% -dən çox olduqda inkişaf edə bilər. Nisbi rütubət 40% ilə 60% arasında olduqda, bakteriya və tənəffüs yolu infeksiyalarının təsirləri minimuma endirilə bilər.
40%-dən 60%-ə qədər olan nisbi rütubət də insanların özlərini rahat hiss etdiyi təvazökar diapazondur. Həddindən artıq rütubət insanlarda depressiyaya səbəb ola bilər, 30% -dən aşağı rütubət isə insanlarda quruluq, çatlaq, tənəffüs narahatlığı və emosional narahatlıq hissi yarada bilər.
Yüksək rütubət əslində təmiz otağın səthində statik yükün yığılmasını azaldır - bu, istənilən nəticədir. Aşağı rütubət yükün yığılması və potensial zədələyici elektrostatik boşalma mənbəyi üçün daha uyğundur. Nisbi rütubət 50% -dən çox olduqda, statik yük sürətlə dağılmağa başlayır, lakin nisbi rütubət 30% -dən az olduqda, onlar izolyatorda və ya əsassız səthdə uzun müddət qala bilər.
35% və 40% arasında nisbi rütubət qənaətbəxş bir kompromis ola bilər və yarımkeçirici təmiz otaqlar adətən statik yükün yığılmasını məhdudlaşdırmaq üçün əlavə nəzarətdən istifadə edir.
Nisbi rütubət artdıqca bir çox kimyəvi reaksiyaların, o cümlədən korroziya prosesinin sürəti artacaq. Təmiz otağı əhatə edən havaya məruz qalan bütün səthlər tez bir zamanda ən azı bir monolay su ilə örtülür. Bu səthlər su ilə reaksiya verə bilən nazik metal örtükdən ibarət olduqda, yüksək rütubət reaksiyanı sürətləndirə bilər. Xoşbəxtlikdən, bəzi metallar, məsələn, alüminium, su ilə qoruyucu bir oksid meydana gətirə və sonrakı oksidləşmə reaksiyalarının qarşısını ala bilər; lakin mis oksidi kimi başqa bir vəziyyət qoruyucu deyil, buna görə də yüksək rütubətli mühitlərdə mis səthlər korroziyaya daha çox həssasdır.
Bundan əlavə, yüksək nisbi rütubətli mühitdə, fotorezist nəmin udulması səbəbindən çörəkçilik dövründən sonra genişlənir və ağırlaşır. Fotorezistin yapışmasına yüksək nisbi rütubət də mənfi təsir göstərə bilər; aşağı nisbi rütubət (təxminən 30%), hətta polimer dəyişdiriciyə ehtiyac olmadan fotorezistin yapışmasını asanlaşdırır.
Yarımkeçirici təmiz otaqda nisbi rütubətin idarə edilməsi özbaşına deyil. Bununla belə, zaman dəyişdikcə, ümumi, ümumi qəbul edilmiş təcrübələrin səbəblərini və əsaslarını nəzərdən keçirmək daha yaxşıdır.
Rütubət insan rahatlığımız üçün xüsusilə nəzərə çarpmayan ola bilər, lakin çox vaxt istehsal prosesinə böyük təsir göstərir, xüsusən də rütubətin yüksək olduğu yerlərdə və rütubət çox vaxt ən pis nəzarətdir, buna görə də təmiz otağın temperaturu və rütubətinə nəzarətdə rütubətə üstünlük verilir.
Göndərmə vaxtı: 01 sentyabr 2020-ci il